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ヘリウム純度モニタ | HPM-02


製品特長


真空計用のピラニゲージを利用した、ヘリウムガス純度測定器です。

ヘリウムガス純度、温度補償用のピラニゲージ外壁温度 をパネル面LCD表示器に常時表示するので、リアルタイムなデータが確認できます。また、ヘリウムガス純度はアナログ信号(0~1V)でも出力します。さらに、LAN経由で外部からデータを読み出すことが可能です。

ファームウェアバージョンV1.10より、E-mail送信機能が搭載されています。本機能により、設定した純度を下回った場合にE-mailで通知することができます。


ヘリウム純度モニタHPM-02解説図


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